Машината за вакуумно покритие е устройство, което отлага метални тънки филми върху повърхността на субстрата.Основният му принцип на работа е разделен на три стъпки: почистване, изпаряване и отлагане.
1. Почистване
Преди отлагане чрез изпаряване, изпарителната камера трябва да се почисти.Тъй като може да има оксиди, мазнини, прах и други вещества, прикрепени към повърхността на изпарителната камера, те ще повлияят на качеството на филма.Почистването обикновено използва химически или физични методи.
2. изпарение
Желаният материал се нагрява над точката му на топене, така че да образува газообразни молекули.След това газообразните молекули излизат във вакуумната камера в камерата за изпаряване.Този процес се нарича изпарение.Температурата, налягането и скоростта на изпарение влияят върху състава, структурата и свойствата на филма.
3. Отлагане
Газообразните молекули на материала в изпарителната камера навлизат в реакционната камера през вакуумната тръба, реагират с активния материал и след това отлагат продукта върху повърхността на субстрата.Този процес се нарича седиментация.Температурата, налягането и скоростта на отлагане също влияят върху качеството и ефективността на филма.
2. Приложение
Машините за вакуумно покритие се използват широко в материалознанието, оптиката, електрониката и други области.
1. Материалознание
Машините за вакуумно покритие могат да подготвят тънки филми от различни метали, сплави, оксиди, силикати и други материали и се използват широко в покрития, оптични филми, оптично съхранение, дисплеи, транзистори и други области.
2. Оптика
Машината за вакуумно покритие може да подготви филми от метал и сплави с висока отразяваща способност и оптични филми със специални функции.Тези филми могат да се използват в слънчеви панели, високоефективни електронни микроскопи, аерогелове, UV/IR сензори, оптични филтри и други области.
3. Електроника
Машините за вакуумно покритие могат да подготвят наномащабни електронни материали и микроелектронни устройства.Тези филми могат да се използват в нанотранзистори, магнитни памети, сензори и други полета.
Накратко, машината за вакуумно покритие може не само да подготви различни тънкослойни материали, но и да подготви тънки филми със специални функции, ако е необходимо.В бъдеще технологията за вакуумно покритие ще бъде по-широко използвана и насърчавана.
Време на публикуване: 12 март 2024 г